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MEMS压力传感器的优势和原理

MEMS技术的主要优势有:

✓ 体积小,重量轻

✓ 量程小,小到几个kpa的压力

✓ 具有很高的精度

✓ 可以做出绝压、表压、压差,选择柔性高

✓ 更适合大批量和高效率的生产

MEMS产品是采用MEMS技术将感压单元和信号处理芯片集成在一个只有几毫米的MEMS芯片上,后期进行必要的封装而来。MEMS产品在我们的生活中随处可见,如电子血压计里面的感压单元,手机麦克风,数码相机的光学防抖所用的陀螺仪等。

MEMS测量压力的原理

MEMS测量压力的原理是在感压膜片上集成几个MEMS压敏电阻,这几个压敏电阻通过绑线实现与外部的电气连接,并组成一个惠斯通电桥。

惠斯通电桥

当压力作用在感压膜片上后,产生机械应力,使得桥臂电阻发生变化,并通过外部电路将这个微小的电压变化进行放大和处理,最终输出正比于压力的电压或者数字信号。

MEMS工作原理

关于压差传感器的选型,需要根据应用需求的不同,主要考虑压力量程、使用温度、输出信号格式、上下拉电阻、精度这五点。另外,根据不同的安装需求,如螺栓孔的数量、压力端口的直径以及接插件型号等,可以选择不同外形的压差传感器。


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