压力传感器是使用广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
我们在选择压力传感器的时候我们要考虑他的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?或者说什么原因会造成传感器的误差呢?其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。
首先的偏移量误差:由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
其次是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。
最后是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用高新技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一点的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。
跟随传感器技术发展趋势,顺应物联网快速发展带来的机会,公司将嵌入式SOC片上系统与网络通讯、模拟\数字信号处理结合,研发出基于SOC技术的高性能物联网节点(前端)平台。基于TCP/IP千兆MCU瞬态信号测试系统、测时测速用于多个国防重点科研项目。
系列智能压力/复合型传感器,突破了高性能压力传感器补偿、矫正等技术瓶颈,其稳定性、可靠性达到并部分指标优于国外产品,打破了国外在高精度压力传感器(科研)上的垄断。成都智能传感器专委会委员,《模型试验中水沙测量仪器数据交互通用规约》起草人之一。